Adalah seperangkat alat yang dirancang untuk memonitoring gerakan lateral dan deformasi tanah, batuan termasuk struktur dinding penahan yang menggunakan suatu komponen micro electromechanical system sebagai pengukur sudut kemiringan tanah terhadap pusat gravitasi bumi. Alat itu memiliki bagian sensitif yang di dalamnya merupakan sensor (MEMS)accelerometer. Singkatnya, alat ini digunakan untuk memantau pergerakan tanah yang terjadi dibawah permukaan. Salah satu parameter yang diukur dalam monitoring stabilitas struktur candi dan bukit Borobudur adalah pengukuran inclinometer. Inclinometer pada bukit candi Borobudur sudah terpasang pasca pemugaran Candi Borobudur 1973-1983. Kemudian ditambah 2 titik pada lereng halaman pada tahun 2010. Sedangkan inclinometer yang sudah terpasang pada bukit ada beberapa titik yang sudah tidak berfungsi, sensor pengambil data sudah mengalami pengembangan dari metode dengan perhitungan manual yang kemudian di upgrade menggunakan sistem digital dengan output grafik.