EDS (ENERGY DISPERSIVE X-RAY SPECTROSCOPY)

merupakan suatu teknik analisa yang berfungsi mengetahui unsur atau sifat kimia dari suatu sampel. Teknik analisa ini biasanya dikombinasikan dengan alat lain yang menggunakan sinar elektron sebagai prinsip kerjanya, misalnya Scanning Electron Microscope (SEM), atau Transmission Electron Microscope (TEM). Sinar elektron yang menumbuk sampel akan menyebabkan elektron tereksitasi (lihat di bagian XRF), sehingga akan timbul sinar-x karateristik yang selanjutnya akan dideteksi oleh detektor dan dianalisa oleh alat tersebut sehingga diketahui unsur dan sifat kimianya. Kelebihan dari EDS adalah mampu melakukan analisa untuk sampel berukuran sangat kecil. EDS digunakan untuk mengetahui komposisi kimia dari material batu Candi Borobudur.