COATING

atau Ion Sputter adalah salah satu syarat utama agar sampel bisa diamati dengan SEM (Scanning Electron Microscope) karena sampel memiliki sifat konduktif (menghantarkan listrik). Untuk sampel yang bersifat isolator maka harus dilapisi atau dicoating terlebih dahulu dengan menggunakan emas.

Pelapisan ini menggunakan metode ion sputter dimana emas berfungsi sebagai katoda dan dilakukan di dalam ruang vakum. Bila diberi tegangan DC diantara elektroda maka molekul udara bertekanan rendah yang tersisa akan terpisah menjadi ion positif dan elektron sehingga membentuk plasma dan menimbulkan fenomena glow discharge.

Ion positif kemudian akan tertarik ke katoda dan elektron ke anoda. Ketika ion positif menabrak permukaan katoda, maka material permukaan katoda (emas) akan terhambur keluar dalam bentuk partikel-partikel. Partikel-partikel emas ini kemudian akan menempel pada sampel yang diletakkan di dekat katoda. Semakin lama proses ini berlangsung, maka akan semakin tebal emas yang menempel pada sampel.