Merupakan suatu alat yang berfungsi sebagai pendingin pada SEM (Scanning Electron Microscope). Chiller tersebut merupakan pendingin berbasis air (akuades) yang mengeluarkan panas dari SEM melalui air yang dialirkan ke dalam pipa yang ada didalam SEM.
Air panas yang keluar dari SEM kemudian didinginkan dengan menggunakan gas freon hingga mencapai suhu tertentu dan dialirkan kembali ke dalam SEM.
CHILLER